박진성 한양대 신소재공학부 교수. (사진=한양대)
AVS ALD/ALE는 원자층 증착과 원자층 식각(Atomic Layer Etching·ALE) 분야 연구자들이 최신 연구성과를 공유하는 대표 국제 학술대회다.
박 교수가 받은 상은 ALD 분야에서 독창적 연구성과와 학문적 리더십을 보인 연구자에게 수여되는 국제 학술상이다. 매년 ALD 분야 발전에 기여한 연구자 1명이 상을 받는다.
박 교수는 ALD를 차세대 전자소자의 계면, 결함, 조성, 구조를 원자 수준에서 제어하는 핵심 공정 플랫폼으로 확장해 온 공로를 인정받았다. 특히 산화물 반도체 박막트랜지스터(TFT) 연구에서 ALD 기반 채널 소재 설계, 계면 제어, 결함 제어, 소자 신뢰성 향상에 기여하며 차세대 디스플레이와 반도체 소자 분야 발전을 이끌어 왔다.
박 교수는 “앞으로도 ALD를 차세대 디스플레이와 반도체 소자를 연결하는 핵심 공정 플랫폼으로 발전시켜 학문적 성과와 산업적 파급력을 함께 만들어 가겠다”고 말했다.
