[이데일리 신하연 기자] 자동화 장비 전문기업 팸텍(271830)의 자회사 써멀텍솔루션은 ‘펠티어 소자를 이용한 반도체 온도 테스트 장치’ 특허를 최근 공식 등록했다고 21일 밝혔다.

이번 특허는 차세대 고성능 메모리 반도체와 AI 반도체 테스트 장비 DTFH(Direct Temperature Forcing Handler)에 적용되는 핵심 기술이다. 고발열 테스트 환경에서도 온도를 안정적으로 제어해 설정 온도와의 오차를 최소화하며, 고성능 반도체 신뢰성 검증에 필요한 정밀도를 확보한 것이 특징이다.

해당 기술은 이미 팸텍의 DTFH 장비에 적용돼 상용화가 진행 중이다. DTFH는 열전소자 기반의 정밀 온도 제어 기술을 통해 고온·저온 조건을 신속하게 구현하며, 발열이 큰 고성능 메모리 반도체 테스트에 최적화된 차세대 검사 장비다. 회사는 이번 특허 등록으로 온도 제어 분야의 기술 경쟁력과 지식재산권 보호 기반이 더욱 강화됐다고 설명했다.

팸텍 관계자는 “이번 특허는 고성능 반도체 신뢰성 테스트 기술력을 공식적으로 인정받은 사례”라며 “AI 반도체 테스트 장비 시장에서의 기술 경쟁력 강화는 글로벌 반도체 제조사 내 점유율 확대에도 기여할 것”이라고 말했다.

팸텍은 AI 고성능 반도체용 고정밀 테스트 솔루션 개발을 지속하고 있으며, 글로벌 AI·메모리 반도체 수요 확대에 맞춰 장비 경쟁력 강화와 고객사 확대에 주력할 예정이다.