콤팩트 카메라 모듈(CCM)·반도체 자동화 장비 전문기업 팸텍은 자동화된 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템에 대한 미국 특허 등록을 완료했다고 이날 밝혔다.
이번에 등록된 특허 명칭은 ‘AUTOMATED SEMICONDUCTOR WAFER SAMPLE PRE-PROCESSING SYSTEM’이다. 해당 기술은 이미 국내에서 동일 명칭으로 특허가 등록된 바 있다.
이번 특허 기술은 웨이퍼 다이싱부터 폴리싱까지의 시편 제작 과정을 자동화한 시스템이다. 특히 결함 좌표 기반 자동 시편 제작 기능을 통해 작업 편차를 줄이고, 공정 효율과 분석 품질을 높일 수 있다. 이를 통해 기존 수작업 방식에서 발생하던 품질 일관성과 처리 속도 문제를 효과적으로 개선한 것이 특징이다.
'미국 특허 등록' 팸텍, 상한가 직행[특징주]









