[이데일리 권오석 기자] 초정밀 광학 솔루션 전문기업 그린광학(0015G0)이 반도체 전공정 핵심 설비인 포토(노광) 공정용 정밀 광학·센서 모듈의 고객사 최종 품질 인증을 마치고 양산 공급에 돌입했다.

그린광학은 22일 해당 제품군이 국내 주요 반도체 장비 기업의 포토 공정 핵심 설비에 탑재되고 있으며, 이 장비는 글로벌 반도체 기업 S사의 첨단 미세공정 생산라인에 공급돼 실제 운용 중이라고 밝혔다.

이번에 공급되는 제품은 노광 설비 내 구동을 담당하는 핵심 모듈로 구성된다. 웨이퍼의 미세한 위치와 안착 상태를 실시간으로 감지하는 ‘고정밀 센서 모듈’과, 웨이퍼 외곽부 감광액(PR, Photoresist) 처리에 활용되는 ‘초정밀 광학 모듈’ 등이 포함된다. 회사 측은 까다로운 전공정 장비 사양을 충족하는 테스트를 통과하며 품질 안정성을 입증했다고 설명했다.

이번 성과는 그린광학이 기존 후공정(HBM 검사) 분야에서 축적한 기술력을 기반으로 진입장벽이 높은 전공정 노광 설비 시장까지 공급망을 확대했다는 점에서 의미가 있다. 이에 따라 회사는 반도체 전·후공정을 아우르는 광학 모듈 포트폴리오를 구축하게 됐다.

전방 산업에서는 차세대 미세공정 투자 확대와 함께 국내 장비 기업들의 수주 증가가 이어지고 있다. 그린광학은 내년부터 관련 공급 물량이 본격적으로 확대되면서 반도체 장비용 광학 부품 사업이 실적 성장의 주요 축으로 자리 잡을 것으로 기대하고 있다.

회사 관계자는 “이번 공급은 기술적 진입장벽이 가장 높은 전공정 노광 설비 분야에서 광학 기술과 품질 경쟁력을 인정받았다는 점에서 의미가 크다”며 “차세대 반도체 공정에 최적화된 맞춤형 광학 솔루션을 통해 글로벌 장비 기업의 핵심 파트너로 도약할 것”이라고 말했다.