에코프로 (사진=에코프로)
에코프로에이치엔은 27일 공시를 통해 삼성E&A와 RCS 공급 계약을 체결했다고 밝혔다. 공급된 설비는 국내 반도체사에 도입될 예정이다.
이번 수주는 국내 반도체사로부터 에코프로에이치엔 RCS 설비의 우수성을 재확인받으며 사업 연속성을 확보했다는 점에서 의미가 있다. 반도체 메가 프로젝트를 비롯한 대규모 첨단 산업단지 조성이 이어지면서 향후 추가 수주에 대한 기대도 커지고 있다.
RCS는 반도체 공정에서 발생하는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 온실가스 저감 시스템이다. PFCs는 이산화탄소(CO₂)보다 지구온난화지수(GWP)가 수천~수만 배 높은 물질로, 반도체 제조 공정에서 반드시 처리해야 하는 대표적인 온실가스로 꼽힌다.
에코프로에이치엔은 촉매 기반 온실가스 저감 기술을 적용해 기존 열분해 방식보다 낮은 온도에서 PFCs를 처리하는 기술력을 확보했다. 기존 열분해 방식이 1300~1400℃의 초고온 공정을 필요로 하는 반면, 에코프로에이치엔의 RCS는 750~800℃ 수준에서 온실가스를 분해할 수 있다. 이를 통해 에너지 사용량을 약 95% 절감하면서도 높은 온실가스 제거 효율을 구현했다고 회사 측은 설명했다.
에코프로에이치엔은 국내 반도체사의 해외 생산거점 확대에 맞춰 북미를 비롯한 해외 반도체 기업으로 고객사를 다변화하며 글로벌 시장 공략을 강화할 계획이다.
에코프로에이치엔 관계자는 “이번 수주는 당사의 독보적인 온실가스 저감 기술력과 설비 신뢰성을 재확인받은 결과”라며 “앞으로도 차별화된 기술을 바탕으로 국내는 물론 글로벌 반도체 시장으로 고객사를 다변화해 나갈 것”이라고 말했다.
